Компания ООО «Группа НИТОЛ» при инвестиционной поддержке госкорпорации «Роснано» становится основным российским производителем трихлорсилана и поликристаллического кремния солнечного качества. Совместно с Федеральным агентством по науке и инновациям Роснаука компания финансирует также проект разработки пилотной линии по производству гранулированного поликристаллического кремния из моносилана.

Ученые Росатома разработали технологию получения высокочистого тетрахлорида кремния

Effective date : Изобретение относится к технологии получения высокочистого тетрахлорида кремния и может быть использовано в производстве тетрахлорида кремния оптического качества, применяемого в технологии синтеза сцинтилляционных материалов, предназначенных для создания детектирующих медицинских систем, и в полупроводниковой промышленности для производства высокоомных эпитаксиальных структур. Способ включает хлорирование технического тетрахлорида кремния в реакторе при подаче хлора под слой жидкого тетрахлорида кремния на мас. Избыток хлора в процессе хлорирования обеспечивают добавлением легкой фракции, полученной в процессе фракционной перегонки тетрахлорида кремния, а в качестве материала смотрового окна в реакторе хлорирования тетрахлорида кремния используют кварцевое стекло, не содержащее боросиликатов. Изобретение относится к способу получения высокочистого тетрахлорида кремния и может быть использовано в производстве тетрахлорида кремния оптического качества, применяемого в технологии синтеза сцинтилляционных материалов, предназначенных для создания детектирующих медицинских систем, так и для его использования в полупроводниковой промышленности для производства высокоомных эпитаксиальных структур. К тетрахлориду кремния такого качества предъявляются жесткие требования по содержанию примесей.

Политика обработки персональных данных. Books in your cart: 0. Полупроводники ArticleName Применение способов гидрирования тетрахлорида кремния в технологии производства поликремния ArticleAuthor Иванов В. ArticleAuthorData В. Иванов, Ю. Трубицин, Классический приватный университет, Украина.

SiH4 Моносилан. SiH2Cl2 Дихлорсилан. SiCl4 Тетрахлорид кремния. GeH4 Моногерман.

Похожие статьи

• Все порно фильмы русского производства
• Порно звездных воинов по мультику
• Секс машина лесбиянки видео
• Секс дома на глазах у родителей